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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-12-07 | 授权 | 授权 |
| 2017-04-12 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101749825552 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2011201683977 变更事项:专利权人 变更前:广西钦州天山微电子有限公司 变更后:广西天山电子股份有限公司 变更事项:地址 变更前:535413 广西壮族自治区钦州市灵山县檀圩镇五里垌 变更后:535000 广西壮族自治区钦州市灵山县檀圩镇五里垌 |
| 2021-06-11 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20110524 授权公告日:20111207 |