可自动调平的光刻平台

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201120168397.7
申请日
2011-05-24
公开(公告)号
CN202067073U
公开(公告)日
2011-12-07
发明(设计)人
叶茂贤
申请人
申请人地址
535413 广西壮族自治区钦州市灵山县檀圩镇五里垌
IPC主分类号
G03F720
IPC分类号
代理机构
桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107
代理人
苏家达
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种可自动调平的钢平台 [P]. 
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