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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-12 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):C23C 28/00 变更事项:发明人 变更前:鞠鹏飞 臧旭升 陈妍 李忠建 刘京周 肖金涛 变更后:鞠鹏飞 许伟春 臧旭升 陈妍 李忠建 刘京周 肖金涛 |
| 2022-08-02 | 授权 | 授权 |
| 2021-05-11 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-28 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 28/00 申请日:20201207 |