微机械热电堆红外探测器的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00116388.4

申请日：

2000-06-07

公开(公告)号：

CN1281262A

公开(公告)日：

2001-01-24

发明(设计)人：

熊斌徐峥谊王跃林王渭源戈肖鸿

申请人：

申请人地址：

200050上海市长宁区长宁路865号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

代理机构：

上海华东专利事务所

代理人：

费开逵

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-12-27	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2001-01-24	公开	公开
2003-09-03	授权	授权
2009-08-12	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

微机械热电堆红外探测器及其制造方法 [P].

熊斌 ;

王翊 ;

王跃林 .

中国专利 :CN100562725C ,2004-09-15

[2]

微机械热电堆红外探测器 [P].

薛晨阳 ;

梁庭 ;

张文栋 ;

刘俊 ;

熊继军 ;

石云波 ;

王楷群 .

中国专利 :CN101575083B ,2009-11-11

[3]

微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

熊斌 ;

杨恒昭 ;

李铁 ;

王翊 ;

王跃林 .

中国专利 :CN100440561C ,2007-05-09

[4]

微机械热电堆红外探测器及其制作方法 [P].

薛晨阳 ;

贾平岗 ;

谭秋林 ;

张文栋 ;

刘俊 ;

熊继军 ;

夏燕 ;

欧文 ;

陈大鹏 ;

明安杰 ;

刘战峰 ;

袁烽 ;

赵利俊 .

中国专利 :CN102757011B ,2012-10-31

[5]

斜拉悬梁支撑膜结构的微机械热电堆红外探测器阵列 [P].

徐峥谊 ;

熊斌 ;

王跃林 .

中国专利 :CN1168149C ,2002-01-30

[6]

热电堆红外探测器及其制造方法 [P].

刘伟 .

中国专利 :CN107403863A ,2017-11-28

[7]

热电堆红外探测器 [P].

孙福河 ;

闻永祥 ;

刘琛 ;

季锋 ;

陈雪平 .

中国专利 :CN204271111U ,2015-04-15

[8]

热电堆红外探测器 [P].

马清杰 ;

吴多武 ;

许正一 .

中国专利 :CN207556682U ,2018-06-29

[9]

热电堆红外探测器 [P].

孙福河 ;

闻永祥 ;

季锋 ;

刘琛 ;

陈雪平 ;

孙伟 .

中国专利 :CN205211778U ,2016-05-04

[10]

一种具有高占空比的微机械热电堆红外探测器及制作方法 [P].

熊斌 ;

徐德辉 ;

马颖蕾 ;

王跃林 .

中国专利 :CN102322961A ,2012-01-18

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