铝酸锂晶片的抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610024584.1

申请日：

2006-03-10

公开(公告)号：

CN100450714C

公开(公告)日：

2006-08-16

发明(设计)人：

邹军周圣明黄涛华王军周健华

申请人：

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

B24B2900

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-10-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2013-05-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101446752941 IPC(主分类):B24B 29/00 专利号:ZL2006100245841 申请日:20060310 授权公告日:20090114 终止日期:20120310
2009-01-14	授权	授权
2006-08-16	公开	公开

共 50 条

[1]

掺钛铝酸锂晶片的制备方法 [P].

周圣明 ;

邹军 ;

徐军 ;

张连翰 ;

彭观良 .

中国专利 :CN1683604A ,2005-10-19

[2]

一种铝酸锂晶片的化学机械抛光方法 [P].

王康平 ;

杨卫桥 ;

李抒智 ;

周颖圆 ;

马可军 ;

刘少龙 ;

孙刚 .

中国专利 :CN101954617A ,2011-01-26

[3]

一种钽酸锂晶片的抛光方法 [P].

沈浩 ;

顾鑫怡 ;

徐秋峰 ;

归欢焕 ;

丁孙杰 .

中国专利 :CN107378654B ,2017-11-24

[4]

铝酸锂晶片的氮化方法 [P].

邹军 ;

周圣明 ;

黄涛华 ;

王军 ;

周健华 .

中国专利 :CN1844491A ,2006-10-11

[5]

铝酸锂晶体的退火方法 [P].

周圣明 ;

林辉 ;

王军 ;

腾浩 .

中国专利 :CN101413142A ,2009-04-22

[6]

大尺寸高质量铝酸锂晶片的制备方法 [P].

周圣明 ;

邹军 ;

徐军 ;

张连翰 .

中国专利 :CN1657660A ,2005-08-24

[7]

一种掺铁铝酸锂晶体的制备方法 [P].

周颖圆 ;

王康平 ;

杨卫桥 ;

李抒智 ;

马可军 ;

刘少龙 ;

陈利君 .

中国专利 :CN101956235A ,2011-01-26

[8]

用于铝酸锂晶体材料的高精密平坦化方法 [P].

贾婷婷 ;

林辉 ;

滕浩 ;

周圣明 .

中国专利 :CN101407429B ,2009-04-15

[9]

掺锰铝酸锂晶体的生长方法 [P].

腾浩 ;

周圣明 ;

林辉 ;

王军 .

中国专利 :CN101440515A ,2009-05-27

[10]

用于铌酸锂的抛光方法 [P].

王波 ;

李晓燕 ;

凌龙 ;

王从学 .

中国专利 :CN118305647A ,2024-07-09

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