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一种碱性蚀刻液循环再生系统及其方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910034200.1
申请日：
2019-01-15
公开(公告)号：
CN109440111A
公开(公告)日：
2019-03-08
发明(设计)人：
苗润昌
申请人：
申请人地址：
523000 广东省广州市白云区石井街聚源街50号4#栋3A层3A06-A16A
IPC主分类号：
C23F146
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/46 申请日:20190115 |
| 2019-03-08 | 公开 | 公开 |