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气体均匀性测试装置、测试系统以及测试方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111334164.4
申请日：
2021-11-11
公开(公告)号：
CN113917092A
公开(公告)日：
2022-01-11
发明(设计)人：
官见忠
胡仁静
秦雨松
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市开发区环娄路236号
IPC主分类号：
G01N3300
IPC分类号：
G01N122
G01M1510
代理机构：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235
代理人：
宋启超
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-11 | 公开 | 公开 |