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用于抛光微晶陶瓷的抛光液以及微晶陶瓷抛光方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202110780677.1
申请日
:
2021-07-09
公开(公告)号
:
CN113618497A
公开(公告)日
:
2021-11-09
发明(设计)人
:
李倩倩
陈亚兵
许仁
王伟
申请人
:
申请人地址
:
437300 湖北省咸宁市经济开发区中伙光谷产业园
IPC主分类号
:
B24B100
IPC分类号
:
B24B5702
代理机构
:
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
:
吴燕琳
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-11-09
公开
公开
2021-11-26
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 1/00 申请日:20210709
共 50 条
[1]
用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液
[P].
刘玉岭
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘玉岭
;
武晓玲
论文数:
0
引用数:
0
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0
武晓玲
.
中国专利
:CN1858132A
,2006-11-08
[2]
微晶玻璃抛光液的制备方法
[P].
刘玉岭
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘玉岭
;
檀柏梅
论文数:
0
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0
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0
檀柏梅
;
刘海晓
论文数:
0
引用数:
0
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0
刘海晓
.
中国专利
:CN102010662B
,2011-04-13
[3]
晶圆抛光液、晶圆抛光方法和晶圆抛光装置
[P].
易德福
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
江西德义半导体科技有限公司
江西德义半导体科技有限公司
易德福
;
丁勇
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
江西德义半导体科技有限公司
江西德义半导体科技有限公司
丁勇
;
吴城
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
江西德义半导体科技有限公司
江西德义半导体科技有限公司
吴城
.
中国专利
:CN118496766A
,2024-08-16
[4]
磁流变非晶合金抛光装置、抛光液及抛光方法
[P].
宋佳
论文数:
0
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0
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0
宋佳
.
中国专利
:CN105904332A
,2016-08-31
[5]
抛光液、抛光机以及抛光方法
[P].
王同庆
论文数:
0
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0
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0
王同庆
;
王婕
论文数:
0
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0
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0
王婕
;
路新春
论文数:
0
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0
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0
路新春
.
中国专利
:CN105773399A
,2016-07-20
[6]
晶圆精抛光液
[P].
闵学勇
论文数:
0
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0
闵学勇
;
邢振林
论文数:
0
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0
邢振林
.
中国专利
:CN101781524A
,2010-07-21
[7]
晶圆粗抛光液
[P].
闵学勇
论文数:
0
引用数:
0
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0
闵学勇
;
邢振林
论文数:
0
引用数:
0
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0
邢振林
.
中国专利
:CN101781525A
,2010-07-21
[8]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法
[P].
于旭东
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
于旭东
;
李军
论文数:
0
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0
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0
机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
李军
;
尹涛
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
尹涛
;
张海龙
论文数:
0
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0
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0
机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
张海龙
;
丁帅
论文数:
0
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0
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机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
丁帅
.
中国专利
:CN121064737A
,2025-12-05
[9]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法
[P].
李军
论文数:
0
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0
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0
机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
李军
;
于旭东
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
科菲材料技术(浙江)有限公司
科菲材料技术(浙江)有限公司
于旭东
.
中国专利
:CN118580772A
,2024-09-03
[10]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法
[P].
王同庆
论文数:
0
引用数:
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机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
王同庆
;
王春龙
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
王春龙
;
张美洁
论文数:
0
引用数:
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0
机构:
华海清科股份有限公司
华海清科股份有限公司
张美洁
.
中国专利
:CN117464552A
,2024-01-30
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