用于抛光微晶陶瓷的抛光液以及微晶陶瓷抛光方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110780677.1
申请日
2021-07-09
公开(公告)号
CN113618497A
公开(公告)日
2021-11-09
发明(设计)人
李倩倩 陈亚兵 许仁 王伟
申请人
申请人地址
437300 湖北省咸宁市经济开发区中伙光谷产业园
IPC主分类号
B24B100
IPC分类号
B24B5702
代理机构
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
吴燕琳
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
用于微晶玻璃研磨抛光的抛光液 [P]. 
刘玉岭 ;
武晓玲 .
中国专利 :CN1858132A ,2006-11-08
[2]
微晶玻璃抛光液的制备方法 [P]. 
刘玉岭 ;
檀柏梅 ;
刘海晓 .
中国专利 :CN102010662B ,2011-04-13
[3]
晶圆抛光液、晶圆抛光方法和晶圆抛光装置 [P]. 
易德福 ;
丁勇 ;
吴城 .
中国专利 :CN118496766A ,2024-08-16
[4]
磁流变非晶合金抛光装置、抛光液及抛光方法 [P]. 
宋佳 .
中国专利 :CN105904332A ,2016-08-31
[5]
抛光液、抛光机以及抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王婕 ;
路新春 .
中国专利 :CN105773399A ,2016-07-20
[6]
晶圆精抛光液 [P]. 
闵学勇 ;
邢振林 .
中国专利 :CN101781524A ,2010-07-21
[7]
晶圆粗抛光液 [P]. 
闵学勇 ;
邢振林 .
中国专利 :CN101781525A ,2010-07-21
[8]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法 [P]. 
于旭东 ;
李军 ;
尹涛 ;
张海龙 ;
丁帅 .
中国专利 :CN121064737A ,2025-12-05
[9]
用于氮化铝陶瓷抛光的抛光液及其制备方法 [P]. 
李军 ;
于旭东 .
中国专利 :CN118580772A ,2024-09-03
[10]
晶圆抛光装置、晶圆抛光系统以及晶圆抛光方法 [P]. 
王同庆 ;
王春龙 ;
张美洁 .
中国专利 :CN117464552A ,2024-01-30