显影装置及显影方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480041995.0

申请日：

2004-12-24

公开(公告)号：

CN1918694A

公开(公告)日：

2007-02-21

发明(设计)人：

大河内厚山本太郎竹口博史京田秀治吉原孝介

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F730

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-02-21	公开	公开
2011-01-26	授权	授权
2007-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

显影装置及显影方法 [P].

大河内厚 ;

山本太郎 ;

竹口博史 ;

京田秀治 ;

吉原孝介 .

中国专利 :CN101697065A ,2010-04-21

[2]

显影装置及显影方法 [P].

田中友耶 ;

山冈英人 .

中国专利 :CN114200791A ,2022-03-18

[3]

显影装置及显影方法 [P].

山本太郎 ;

吉原孝介 ;

京田秀治 ;

竹口博史 ;

大河内厚 .

中国专利 :CN100539017C ,2008-02-13

[4]

显影方法及显影装置 [P].

立山清久 ;

野村雅文 ;

筱木武虎 .

中国专利 :CN1501177A ,2004-06-02

[5]

显影装置及显影方法 [P].

中村彰彦 ;

宫成淳 .

中国专利 :CN1428658A ,2003-07-09

[6]

显影装置及显影方法 [P].

吴春晖 ;

余世荣 ;

蒋盛超 ;

安予生 ;

喻琨 .

中国专利 :CN107065452A ,2017-08-18

[7]

显影装置及显影方法 [P].

李晓波 ;

李思彤 ;

周晓平 ;

蒋新 .

中国专利 :CN117406565A ,2024-01-16

[8]

显影装置及显影方法 [P].

三浦拓也 ;

田中公一朗 .

中国专利 :CN114660908A ,2022-06-24

[9]

显影方法及显影装置 [P].

杨洋 ;

王忠诚 .

中国专利 :CN115327868A ,2022-11-11

[10]

显影方法及显影装置 [P].

秦利鹏 ;

郑海昌 ;

王晓龙 .

中国专利 :CN113448184A ,2021-09-28

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