一种氮化硼刻蚀的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710043653.1

申请日：

2017-01-19

公开(公告)号：

CN106835074A

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

金圣忠赵士超翁嘉鑫吕燕飞

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1634 C23C1656

代理机构：

杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240

代理人：

杜军

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101731973049 IPC(主分类):C23C 16/455 专利申请号:2017100436531 申请日:20170119
2020-09-04	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20200818 变更事项:专利权人变更前权利人:杭州电子科技大学变更后权利人:浙江启博知识产权运营有限公司变更事项:地址变更前权利人:310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街变更后权利人:310018 浙江省杭州市钱塘新区白杨街道科技园路20号9幢504室
2018-12-25	授权	授权
2017-06-13	公开	公开
2021-01-26	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 16/455 登记生效日:20210113 变更事项:专利权人变更前权利人:浙江启博知识产权运营有限公司变更后权利人:江苏中商碳素研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:310018 浙江省杭州市钱塘新区白杨街道科技园路20号9幢504室310018 变更后权利人:221600 江苏省徐州市沛县经济开发区沛公路北侧、汉润路东侧（科技创业园）

共 50 条

[1]

一种氮化硼复合薄膜及其制备方法 [P].

王小华 ;

张先雷 .

中国专利 :CN120209617A ,2025-06-27

[2]

一种氮化硼复合薄膜及其制备方法 [P].

王小华 ;

张先雷 .

中国专利 :CN120209617B ,2025-08-29

[3]

一种干法刻蚀氮化硼薄膜的方法 [P].

吴天如 .

中国专利 :CN118147600A ,2024-06-07

[4]

制备氮化硼薄膜的方法与氮化硼薄膜 [P].

郭文哲 ;

李文亮 ;

李豪浚 ;

郭原良 ;

平欣 ;

周炎霖 ;

刘建和 ;

蔡明新 .

中国专利 :CN119287339A ,2025-01-10

[5]

氮化硼及生产氮化硼的方法 [P].

纳拉扬·S·霍斯马内 ;

阿马特亚·扎克拉巴蒂 ;

谢娜·M·斯坦利 .

中国专利 :CN106414311A ,2017-02-15

[6]

一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法 [P].

王浩敏 ;

谢红 ;

贺立 ;

王慧山 ;

陈令修 ;

李蕾 ;

吴天如 ;

张道礼 ;

谢晓明 ;

江绵恒 .

中国专利 :CN104992905A ,2015-10-21

[7]

一种均质氮化硼薄膜及高效制备氮化硼薄膜的方法 [P].

李爱军 ;

海维斌 ;

彭雨晴 ;

江文倩 ;

贺杜炜 ;

王启帆 .

中国专利 :CN118186365A ,2024-06-14

[8]

粒状氮化硼的制造方法和粒状氮化硼 [P].

楠濑尚史 .

日本专利 :CN120019022A ,2025-05-16

[9]

L·N·鲁萨诺瓦 ;

A·G·罗马欣 ;

L·I·戈尔恰科瓦 ;

G·I·库里科瓦 ;

M·K·阿列克斯夫 .

中国专利 :CN1162297A ,1997-10-15

[10]

氮化硼和氮化硼导出材料的沉积方法 [P].

J-u·许 ;

M·巴尔塞努 ;

夏立群 ;

V·T·恩古耶 ;

D·R·威蒂 ;

H·M'塞德 .

中国专利 :CN101690420B ,2010-03-31

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