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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-29 | 授权 | 授权 |
| 2020-09-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/00 申请日:20200426 |
| 2021-07-27 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):G01J 5/00 变更事项:申请人 变更前:中控华运(厦门)集成电路有限公司 变更后:熵基华运(厦门)集成电路有限公司 变更事项:地址 变更前:361021 福建省厦门市软件园三期诚毅北大街8号22层01单元 变更后:361021 福建省厦门市软件园三期诚毅北大街8号22层01单元 |