共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种单晶硅外延片高精度磨边装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110527203.6
申请日：
2021-05-12
公开(公告)号：
CN113182971B
公开(公告)日：
2021-07-30
发明(设计)人：
吴勇
申请人：
申请人地址：
625000 四川省雅安市经开区园区大道创业孵化园单层厂房11栋
IPC主分类号：
B24B906
IPC分类号：
B24B4106
B24B4100
代理机构：
成都乐易联创专利代理有限公司 51269
代理人：
白小明
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-25 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 9/06 申请日:20210512 |
| 2021-07-30 | 公开 | 公开 |