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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-06-22 | 公开 | 公开 |
| 2016-10-26 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101740876960 IPC(主分类):G03F 7/00 专利号:ZL201010167630X 变更事项:专利权人 变更前:HOYA株式会社 变更后:HOYA株式会社 变更事项:地址 变更前:日本东京都 变更后:日本东京都160-8347新宿区西新宿六丁目10番1号 |
| 2013-01-23 | 授权 | 授权 |
| 2011-08-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101094137835 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:201010167630X 申请日:20100426 |