一种类金刚石薄膜制备工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410702591.7

申请日：

2014-11-29

公开(公告)号：

CN104372304A

公开(公告)日：

2015-02-25

发明(设计)人：

李俊梁天也李斌商李徐兵

申请人：

申请人地址：

231400 安徽省安庆市桐城市范岗镇

IPC主分类号：

C23C1626

IPC分类号：

C23C16505

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101602540015 IPC(主分类):C23C 16/26 专利申请号:2014107025917 申请日:20141129
2015-02-25	公开	公开
2017-11-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/26 申请公布日:20150225

共 50 条

[1]

一种类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

朱得菊 ;

吴德生 ;

陈立 .

中国专利 :CN106947940A ,2017-07-14

[2]

一种类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

邢通 ;

武俊伟 ;

赵明华 ;

汪选林 ;

汪友林 .

中国专利 :CN107400873B ,2017-11-28

[3]

一种类金刚石薄膜的制备设备 [P].

乐务时 .

中国专利 :CN216074011U ,2022-03-18

[4]

一种类金刚石薄膜的制备方法 [P].

魏利 .

中国专利 :CN114606546A ,2022-06-10

[5]

一种类金刚石薄膜的制备方法 [P].

王国斌 .

中国专利 :CN108118308A ,2018-06-05

[6]

一种类金刚石薄膜的制备方法 [P].

夏原 ;

许亿 ;

李光 .

中国专利 :CN111378947B ,2020-07-07

[7]

新型类金刚石薄膜沉积工艺 [P].

赵跃 .

中国专利 :CN1590584A ,2005-03-09

[8]

一种类金刚石薄膜的制备设备及方法 [P].

魏锡均 ;

张强 .

中国专利 :CN117737650A ,2024-03-22

[9]

一种类金刚石保护薄膜及其制备方法 [P].

陆益敏 ;

黄国俊 ;

王赛 ;

米朝伟 ;

朱孟真 ;

曹海源 ;

魏靖松 ;

黎伟 ;

初华 ;

程勇 .

中国专利 :CN112707367A ,2021-04-27

[10]

一种类金刚石保护薄膜及其制备方法 [P].

陆益敏 ;

黄国俊 ;

王赛 ;

米朝伟 ;

朱孟真 ;

曹海源 ;

魏靖松 ;

黎伟 ;

初华 ;

程勇 .

中国专利 :CN112707367B ,2024-02-27

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