共 50 条
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研磨用组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880084023.1
申请日：
2018-12-20
公开(公告)号：
CN111527589A
公开(公告)日：
2020-08-11
发明(设计)人：
杉田规章
松下隆幸
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
H01L21304
IPC分类号：
B24B3700
C09K314
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
戴彬
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-10-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20181220 |
| 2020-08-11 | 公开 | 公开 |