共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
被加工物的加工方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610616617.5
申请日：
2016-07-29
公开(公告)号：
CN106409761A
公开(公告)日：
2017-02-15
发明(设计)人：
有福法久
徐晙墉
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2178
IPC分类号：
H01L21304
代理机构：
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人：
李辉;于靖帅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-07-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/78 申请日:20160729 |
| 2021-11-16 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/78 申请公布日:20170215 |
| 2017-02-15 | 公开 | 公开 |