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量测装置及量测方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201911297503.9
申请日
:
2019-12-17
公开(公告)号
:
CN112986615A
公开(公告)日
:
2021-06-18
发明(设计)人
:
詹森雄
江家谊
申请人
:
申请人地址
:
中国台湾桃园市中坜区自强三路三号
IPC主分类号
:
G01P5165
IPC分类号
:
G01B1116
代理机构
:
北京申翔知识产权代理有限公司 11214
代理人
:
赵梦雯;艾晶
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-07-06
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P 5/165 申请日:20191217
2021-06-18
公开
公开
共 50 条
[1]
量测装置及量测方法
[P].
赖允晋
论文数:
0
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0
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赖允晋
;
庄翌晨
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庄翌晨
;
杨戴隆
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杨戴隆
;
洪育民
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洪育民
.
中国专利
:CN104458209A
,2015-03-25
[2]
量测装置及量测方法
[P].
张民山
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0
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
张民山
;
论文数:
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机构:
徐兵
;
李煜芝
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
李煜芝
;
于亮
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
于亮
;
王保亮
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机构:
上海微电子装备(集团)股份有限公司
上海微电子装备(集团)股份有限公司
王保亮
.
中国专利
:CN118242975A
,2024-06-25
[3]
量测装置及量测方法
[P].
吴景扬
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机构:
业成光电(深圳)有限公司
业成光电(深圳)有限公司
吴景扬
;
周宗震
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机构:
业成光电(深圳)有限公司
业成光电(深圳)有限公司
周宗震
;
简昆峰
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机构:
业成光电(深圳)有限公司
业成光电(深圳)有限公司
简昆峰
;
高维笛
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机构:
业成光电(深圳)有限公司
业成光电(深圳)有限公司
高维笛
;
王俊杰
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机构:
业成光电(深圳)有限公司
业成光电(深圳)有限公司
王俊杰
.
中国专利
:CN117907284A
,2024-04-19
[4]
量测装置及量测方法
[P].
孙正一
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孙正一
;
陈昶升
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陈昶升
;
杨勇
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杨勇
;
曹伟涛
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曹伟涛
;
谢松臻
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谢松臻
.
中国专利
:CN111805301B
,2020-10-23
[5]
量测装置及量测方法
[P].
李雷
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李雷
;
成智
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成智
;
陈平
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陈平
;
杨继文
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杨继文
;
董林森
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董林森
;
孙长发
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孙长发
.
中国专利
:CN101210795A
,2008-07-02
[6]
量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法
[P].
李想
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李想
.
中国专利
:CN115597510A
,2023-01-13
[7]
量测装置
[P].
詹森雄
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詹森雄
;
江家谊
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江家谊
.
中国专利
:CN210894402U
,2020-06-30
[8]
量测装置及应用该量测装置的量测方法
[P].
翁偟铭
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翁偟铭
.
中国专利
:CN101028692B
,2007-09-05
[9]
阻抗量测组件、阻抗量测装置及阻抗量测方法
[P].
杨思闯
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杨思闯
.
中国专利
:CN104849558A
,2015-08-19
[10]
量测方法和量测装置
[P].
V·T·滕纳
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
V·T·滕纳
;
H·A·J·克瑞姆
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·A·J·克瑞姆
;
T·W·图克尔
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
T·W·图克尔
;
B·L·W·M·范德文
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
B·L·W·M·范德文
.
:CN117651913A
,2024-03-05
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