一种三氯化硼尾气自动处理装置

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申请号
CN202122593540.3
申请日
2021-10-27
公开(公告)号
CN217526994U
公开(公告)日
2022-10-04
发明(设计)人
贺荣华 许少鹏
申请人
申请人地址
350109 福建省福州市闽侯县南屿镇玉田村玉屿86号
IPC主分类号
B01D5378
IPC分类号
B01D5368
代理机构
福州元创专利商标代理有限公司 35100
代理人
陈方淮;蔡学俊
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
三氯化硼尾气处理装置 [P]. 
梁永强 .
中国专利 :CN208642244U ,2019-03-26
[2]
一种三氯化硼纯化尾气处理装置 [P]. 
周国强 ;
涂怀敏 ;
敖平平 .
中国专利 :CN213467382U ,2021-06-18
[3]
三氯化硼纯化尾气处理装置 [P]. 
许少鹏 ;
何经余 .
中国专利 :CN208583171U ,2019-03-08
[4]
三氯化硼尾气处理装置及其处理方法 [P]. 
李智 ;
马豪 ;
唐忠福 ;
徐建涛 ;
杜文东 .
中国专利 :CN121016460A ,2025-11-28
[5]
一种三氯化硼尾气防堵塞处理装置及方法 [P]. 
韩闯 ;
贾静姗 ;
白犇 ;
祝德康 ;
黄英 ;
段海洋 ;
张乾程 ;
王占卫 .
中国专利 :CN119926128A ,2025-05-06
[6]
一种三氯化硼尾气吸收塔 [P]. 
黄加斗 ;
刘辉 ;
徐立 .
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[7]
三氯化硼尾气吸收塔 [P]. 
赵毅 ;
计燕秋 ;
刘颖 ;
赵趫 ;
王天源 .
中国专利 :CN211936266U ,2020-11-17
[8]
三氯化硼残料处理装置 [P]. 
史隽涛 ;
赵铁 ;
李晓康 ;
张秋元 ;
张建军 .
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[9]
一种三氯化磷尾气缓冲处理装置 [P]. 
王俊华 ;
金标 .
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[10]
一种三氯化硼生产存储装置 [P]. 
蔡京 ;
蔡杉 ;
魏怡清 ;
陈永智 .
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