一种六边形蜂窝状双沟槽光刻版

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申请号
CN202220088381.3
申请日
2022-01-13
公开(公告)号
CN216901318U
公开(公告)日
2022-07-05
发明(设计)人
虞旭俊 金家斌 王俊 贺鸿浩 朱燕飞 毛建军 任亮
申请人
申请人地址
310000 浙江省杭州市萧山区靖江街道和顺村黎明社区
IPC主分类号
G03F126
IPC分类号
代理机构
杭州求是专利事务所有限公司 33200
代理人
傅朝栋;张法高
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种多边形蜂窝状双沟槽光刻版 [P]. 
陈宏渊 .
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[3]
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一种蜂窝状六边形截面结构圆梳锡林底座 [P]. 
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[6]
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[7]
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[8]
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[10]
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