化学液体供应设备及其脱气方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02826135.6

申请日：

2002-12-06

公开(公告)号：

CN1305546C

公开(公告)日：

2005-04-20

发明(设计)人：

宇田川诚一郎

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

B01D1900

IPC分类号：

B05C1110 H01L21027 G03F716

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

董敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-03-21	授权	授权
2005-04-20	公开	公开
2005-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2016-01-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101643904014 IPC(主分类):B01D 19/00 专利号:ZL028261356 申请日:20021206 授权公告日:20070321 终止日期:20141206

共 50 条

[1]

化学液体供应设备 [P].

李东和 ;

尹大建 ;

崔峰满 ;

李寿洪 ;

金大星 .

韩国专利 :CN117943206A ,2024-04-30

[2]

化学液体自动供应设备 [P].

车占 .

中国专利 :CN203255960U ,2013-10-30

[3]

液体供应设备及其液体供应系统 [P].

潘智捷 .

中国专利 :CN210842807U ,2020-06-26

[4]

液体供应设备、液体供应系统及其液体供应方法 [P].

潘智捷 .

中国专利 :CN110477788A ,2019-11-22

[5]

液体供应设备 [P].

刑部吉记 ;

白野太一 ;

中泽史朗 ;

畔柳草介 .

日本专利 :CN116323230B ,2025-12-05

[6]

液体供应设备 [P].

刑部吉记 ;

白野太一 ;

中泽史朗 ;

畔柳草介 .

日本专利 :CN116323231B ,2025-03-07

[7]

液体供应设备 [P].

冈崎真也 ;

高桥宏明 .

中国专利 :CN106985534A ,2017-07-28

[8]

一种新型化学液体自动供应设备 [P].

吕娟 ;

王腊苗 ;

高洁 .

中国专利 :CN215576330U ,2022-01-18

[9]

液体化学品罐模块和液体化学品供应设备 [P].

沈秉禹 ;

李福圭 .

韩国专利 :CN117719797A ,2024-03-19

[10]

一种液体化学品供应设备 [P].

郭俊杰 ;

成苗 ;

丁静伊 .

中国专利 :CN223537409U ,2025-11-11

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