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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-06-05 | 授权 | 授权 |
| 2011-10-12 | 公开 | 公开 |
| 2015-06-24 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 专利号:ZL2011101200618 申请日:20110511 授权公告日:20130605 终止日期:20140511 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101615167689 IPC(主分类):C23C 24/00 |
| 2011-11-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101143711166 IPC(主分类):C23C 24/00 专利申请号:2011101200618 申请日:20110511 |