硅片传送机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220558728.2

申请日：

2012-10-29

公开(公告)号：

CN202905681U

公开(公告)日：

2013-04-24

发明(设计)人：

刘振华李化阳任海兵

申请人：

申请人地址：

212211 江苏省镇江市扬中市新坝镇新中南路66号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L3118 B08B1300

代理机构：

镇江京科专利商标代理有限公司 32107

代理人：

夏哲华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20121029 授权公告日:20130424 终止日期:20201029
2013-04-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片传送机构 [P].

周公庆 ;

周华 ;

刘宗刚 ;

刘赖生 ;

冷德成 ;

袁桃生 ;

宋海峰 .

中国专利 :CN222794440U ,2025-04-25

[2]

一种硅片传送机构 [P].

黄昱 ;

方荣 ;

于松 ;

洪亮 .

中国专利 :CN206003754U ,2017-03-08

[3]

一种硅片传送机构 [P].

吴磊 .

中国专利 :CN202245326U ,2012-05-30

[4]

传送机构 [P].

周建阳 ;

吴星 ;

王庆丰 ;

蔡俊 ;

杨星星 .

中国专利 :CN212049459U ,2020-12-01

[5]

传送机构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213170347U ,2021-05-11

[6]

传送机构 [P].

陈建都 .

中国专利 :CN205542733U ,2016-08-31

[7]

传送机构 [P].

陆世斌 ;

焦志坚 .

中国专利 :CN210884252U ,2020-06-30

[8]

传送机构 [P].

钟华桂 .

中国专利 :CN203199719U ,2013-09-18

[9]

传送机构 [P].

陈星 ;

范曦文 .

中国专利 :CN203794072U ,2014-08-27

[10]

用于硅片筛选机的传送机构 [P].

常新峰 .

中国专利 :CN207086380U ,2018-03-13

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