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一种微电子设备清灰装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201821092410.3
申请日：
2018-07-11
公开(公告)号：
CN208661982U
公开(公告)日：
2019-03-29
发明(设计)人：
梁碧琨
徐海峰
郭旭升
申请人：
申请人地址：
712000 陕西省咸阳市渭城区金旭路长庆石化公司
IPC主分类号：
B08B502
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-29 | 授权 | 授权 |