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用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202080056085.9
申请日：
2020-08-04
公开(公告)号：
CN114207769A
公开(公告)日：
2022-03-18
发明(设计)人：
克里斯托弗·金博尔 赫马·斯沃普·莫皮迪维 萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 汤姆·A·坎普 达雷尔·埃利希 安东尼·孔特雷拉斯 奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
上海胜康律师事务所 31263
代理人：
李献忠;张华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-18 公开 公开
2022-06-24 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200804
共 50 条
[1]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
美国专利 :CN121122994A ,2025-12-12
[2]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
美国专利 :CN121122996A ,2025-12-12
[3]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
中国专利 :CN114695062A ,2022-07-01
[4]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
美国专利 :CN121122997A ,2025-12-12
[5]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
美国专利 :CN114207769B ,2025-08-12
[6]
用于衬底处理系统的具有降低电容变化的可移动边缘环 [P]. 
克里斯托弗·金博尔 ;
赫马·斯沃普·莫皮迪维 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
汤姆·A·坎普 ;
达雷尔·埃利希 ;
安东尼·孔特雷拉斯 ;
奇亚拉·海伦娜·凯瑟琳娜·贾曼科·麦克弗森 .
美国专利 :CN121122995A ,2025-12-12
[7]
衬底处理系统的可移动边缘环 [P]. 
罗希妮·米什拉 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 .
中国专利 :CN114223054A ,2022-03-22
[8]
用于衬底处理系统的边缘环系统 [P]. 
韩慧玲 ;
黄新伟 ;
亚历山大·米勒·帕特森 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
安·埃里克森 ;
乔安娜·吴 ;
施萨拉曼·拉马钱德兰 ;
克里斯托弗·金博尔 ;
阿里斯·佩雷斯 .
美国专利 :CN118431063A ,2024-08-02
[9]
用于衬底处理系统的边缘环系统 [P]. 
韩慧玲 ;
黄新伟 ;
亚历山大·米勒·帕特森 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
安·埃里克森 ;
乔安娜·吴 ;
施萨拉曼·拉马钱德兰 ;
克里斯托弗·金博尔 ;
阿里斯·佩雷斯 .
中国专利 :CN114207772A ,2022-03-18
[10]
用于衬底处理系统的边缘环系统 [P]. 
韩慧玲 ;
黄新伟 ;
亚历山大·米勒·帕特森 ;
萨拉瓦纳普里亚·西里拉曼 ;
安·埃里克森 ;
乔安娜·吴 ;
施萨拉曼·拉马钱德兰 ;
克里斯托弗·金博尔 ;
阿里斯·佩雷斯 .
美国专利 :CN114207772B ,2024-05-24
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