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汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN02803905.X
申请日：
2002-01-18
公开(公告)号：
CN100595910C
公开(公告)日：
2004-09-22
发明(设计)人：
都田昌之
楠原昌树
梅田优
深川满
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2331
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司
代理人：
蔡洪贵
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-01 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/31 申请日:20020118 授权公告日:20100324 终止日期:20200118 |
| 2004-09-22 | 公开 | 公开 |
| 2010-03-24 | 授权 | 授权 |
| 2004-12-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |