一种蚀刻液可循环式蚀刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520699583.1

申请日：

2015-09-10

公开(公告)号：

CN204918774U

公开(公告)日：

2015-12-30

发明(设计)人：

凌国军

申请人：

申请人地址：

335000 江西省鹰潭市贵溪市工业园

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

代理机构：

北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246

代理人：

熊思智

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20150910 授权公告日:20151230 终止日期:20160910
2015-12-30	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液可循环式蚀刻机 [P].

顾卫明 ;

赵福庆 ;

胡松平 .

中国专利 :CN223674749U ,2025-12-16

[2]

一种蚀刻液送液组件及蚀刻机 [P].

关家彬 ;

郑健成 ;

潘然楷 ;

谭健福 .

中国专利 :CN216585221U ,2022-05-24

[3]

蚀刻液循环回收系统 [P].

王劲 ;

张志明 ;

林立明 ;

文曙光 ;

吴丽琼 .

中国专利 :CN204570047U ,2015-08-19

[4]

一种蚀刻机用进液部件及蚀刻机 [P].

郑健成 ;

关家彬 ;

陈恒辉 ;

潘然楷 .

中国专利 :CN216585223U ,2022-05-24

[5]

一种玻璃蚀刻液循环装置 [P].

赵之光 ;

贺新平 ;

李磊 .

中国专利 :CN218089364U ,2022-12-20

[6]

一种蚀刻液循环利用装置 [P].

邰建昆 ;

龙正 .

中国专利 :CN222918239U ,2025-05-30

[7]

用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置 [P].

刘雄 .

中国专利 :CN218372525U ,2023-01-24

[8]

一种用于蚀刻机的蚀刻液无冷却液装置 [P].

周文军 .

中国专利 :CN214937814U ,2021-11-30

[9]

铜蚀刻液再生循环装置 [P].

何剑波 .

中国专利 :CN201003069Y ,2008-01-09

[10]

一种酸性蚀刻液用蚀刻机入料冷却装置 [P].

徐麟 ;

杨代军 ;

黄勇 ;

于波 ;

李志强 .

中国专利 :CN217997331U ,2022-12-09

← 1 2 3 4 5 →