一种氯硅烷废气处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711213480.X

申请日：

2017-11-28

公开(公告)号：

CN107970756A

公开(公告)日：

2018-05-01

发明(设计)人：

高甲义孙培军芦建武小进马冲

申请人：

申请人地址：

210000 江苏省南京市江宁区江宁经济技术开发区东善桥工业集中区德邦路8号

IPC主分类号：

B01D5368

IPC分类号：

B01D5378 B01D5379 B01D5318

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

张福敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/68 申请日:20171128
2021-09-10	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B01D 53/68 申请公布日:20180501
2018-05-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氯硅烷废气回收处理装置 [P].

徐志伟 ;

陈春 .

中国专利 :CN222358245U ,2025-01-17

[2]

一种硅烷和氯硅烷的废气处理系统及处理方法 [P].

张蕴 ;

潘波 ;

李兴虎 ;

董浩 ;

曲昆 ;

王凡 ;

陈怡良 ;

公衍尚 ;

刘梦琪 ;

王亮 .

中国专利 :CN120960968A ,2025-11-18

[3]

一种含氯硅烷废气的处理装置 [P].

闫卫东 ;

贺波 .

中国专利 :CN211246077U ,2020-08-14

[4]

硅烷氯硅烷废气处理装置 [P].

徐志伟 ;

陈春 .

中国专利 :CN222641600U ,2025-03-21

[5]

氯硅烷废气处理系统 [P].

陈春 ;

徐志伟 .

中国专利 :CN220696325U ,2024-04-02

[6]

一种氯硅烷水解生成废气的吸收处理装置 [P].

陶美霞 ;

黄建广 ;

承丽君 ;

王国庆 .

中国专利 :CN211246092U ,2020-08-14

[7]

一种氯硅烷废气雾化处理装置 [P].

唐安中 ;

张志海 ;

张诚 ;

周朋 ;

周晴 .

中国专利 :CN113181757A ,2021-07-30

[8]

一种氯硅烷废气雾化处理装置 [P].

唐安中 ;

张志海 ;

张诚 ;

周朋 ;

周晴 .

中国专利 :CN215086113U ,2021-12-10

[9]

氯硅烷分析废气回收处理装置 [P].

李飞明 ;

王立军 .

中国专利 :CN206535403U ,2017-10-03

[10]

氯硅烷分析废气回收处理装置和处理方法 [P].

李飞明 ;

王立军 .

中国专利 :CN106621757B ,2017-05-10

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