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工作台以及曝光装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710610850.7
申请日：
2017-07-25
公开(公告)号：
CN107656425A
公开(公告)日：
2018-02-02
发明(设计)人：
原贵之
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
徐殿军
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-02-02 | 公开 | 公开 |
| 2019-06-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170725 |
| 2021-03-26 | 授权 | 授权 |