微电子器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410073575.6

申请日：

2014-02-28

公开(公告)号：

CN104022073A

公开(公告)日：

2014-09-03

发明(设计)人：

亨利·席卜耶特

申请人：

申请人地址：

法国巴黎

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21822

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

方挺;葛强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-15	授权	授权
2016-03-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101653278437 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014100735756 申请日:20140228
2014-09-03	公开	公开

共 50 条

[1]

微电子器件和制造微电子器件的方法 [P].

R·斯托默 ;

M·斯特拉塞 .

中国专利 :CN1949541A ,2007-04-18

[2]

制造微电子器件的方法和微电子器件 [P].

G·欣德勒 ;

Z·加布里克 ;

W·哈特纳 .

中国专利 :CN1162900C ,2002-03-20

[3]

微电子器件的制造方法及由该方法制造的微电子器件 [P].

克劳斯·J·里佩 ;

赫维·布兰克 ;

沃尔夫冈·德泽 .

中国专利 :CN1222984C ,2004-03-10

[4]

微电子器件及其制造方法 [P].

程慷果 .

中国专利 :CN101414559A ,2009-04-22

[5]

微电子器件及微电子器件制作方法 [P].

蔡文必 ;

刘成 ;

叶念慈 ;

林育赐 ;

赵杰 ;

梁玉玉 ;

杨健 .

中国专利 :CN110379807B ,2019-10-25

[6]

微电子器件装置、具有微电子器件装置的系统和相对应的用于微电子器件装置的制造方法 [P].

I.赫尔曼 ;

F.乌特梅伦 ;

F.亨里奇 .

中国专利 :CN107925716A ,2018-04-17

[7]

微电子器件 [P].

J·日默内·马蒂内 .

中国专利 :CN215600373U ,2022-01-21

[8]

微电子器件 [P].

K·维尔瓦尼 ;

K·戈帕拉克里希南 ;

R·S·谢诺伊 ;

D·S·贝休恩 ;

A·J·科洛克 .

中国专利 :CN103733337A ,2014-04-16

[9]

微电子器件 [P].

R·盖伊 ;

A·马扎基 .

中国专利 :CN215731714U ,2022-02-01

[10]

用于制造具有黑色表面的微电子器件的工艺和微电子器件 [P].

R·索玛彻尼 ;

P·佩特鲁扎 .

中国专利 :CN107867671A ,2018-04-03

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