晶圆扩膜机

被引：0

申请号：

CN202221383702.9

申请日：

2022-06-02

公开(公告)号：

CN217426690U

公开(公告)日：

2022-09-13

发明(设计)人：

夏志勇方明登刘瑶林邓惠建温业锋

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号A栋、B栋第一至三层、C栋第一层、D栋

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

广州德科知识产权代理有限公司 44381

代理人：

林玉旋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-13	授权	授权

共 50 条

[1]

扩膜晶圆检验装置 [P].

汪良恩 ;

李建利 ;

汪进 .

中国专利 :CN223712717U ,2025-12-23

[2]

晶圆扩片机 [P].

简世平 ;

高杨 ;

国柄智章 ;

简麟丰 ;

竹原尚吾 .

中国专利 :CN220420563U ,2024-01-30

[3]

晶圆扩片机 [P].

简世平 ;

高杨 ;

国柄智章 ;

简麟丰 ;

竹原尚吾 .

中国专利 :CN220420564U ,2024-01-30

[4]

晶圆扩片机 [P].

简世平 ;

高杨 ;

国柄智章 ;

简麟丰 ;

竹原尚吾 .

中国专利 :CN220420562U ,2024-01-30

[5]

一种晶圆片扩膜机的扩膜夹紧装置 [P].

黄运军 .

中国专利 :CN210182355U ,2020-03-24

[6]

彭晖 ;

李文玉 ;

张亚菲 ;

王华 ;

宋定洁 ;

黄映仪 .

中国专利 :CN204204904U ,2015-03-11

[7]

一种晶圆扩膜装置 [P].

张辰鑫 .

中国专利 :CN223193762U ,2025-08-05

[8]

一种晶圆扩膜装置 [P].

田耕 ;

徐新玉 ;

王志远 .

中国专利 :CN220306215U ,2024-01-05

[9]

一种晶圆扩膜装置 [P].

曾志东 ;

郭海兵 ;

李林稳 ;

林昌达 ;

刘阳 .

中国专利 :CN217955804U ,2022-12-02

[10]

晶圆扩膜后的中转装置 [P].

郑吉龙 .

中国专利 :CN223052104U ,2025-07-01

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