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蒸发舟夹紧装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200910215555.7
申请日：
2009-12-23
公开(公告)号：
CN101736294B
公开(公告)日：
2010-06-16
发明(设计)人：
杨明生
刘惠森
范继良
叶宗锋
王曼媛
王勇
申请人：
申请人地址：
523018 广东省东莞南城区宏图高新技术开发区黄金路东莞宏威数码机械有限公司
IPC主分类号：
C23C1424
IPC分类号：
C23C1412
H01L5156
代理机构：
广州三环专利代理有限公司 44202
代理人：
张艳美;郝传鑫
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-10-10 | 授权 | 授权 |
| 2010-06-16 | 公开 | 公开 |
| 2010-09-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005262149 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2009102155557 申请日:20091223 |
| 2014-10-22 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706122280 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009102155557 申请日:20091223 授权公告日:20121010 登记生效日:无 解除日:20140905 |
| 2015-10-07 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721697085 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009102155557 申请日:20091223 授权公告日:20121010 登记生效日:无 解除日:20150905 |
| 2015-10-07 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721697097 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009102155557 申请日:20091223 授权公告日:20121010 登记生效日:20150905 解除日:无 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20091223 授权公告日:20121010 终止日期:20131223 |
| 2021-10-26 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20091223 授权公告日:20121010 解除日:20210905 |
| 2014-10-22 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706122293 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009102155557 申请日:20091223 授权公告日:20121010 登记生效日:20140905 解除日:无 |
| 2014-01-08 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684702594 IPC(主分类):C23C 14/24 专利号:ZL2009102155557 申请日:20091223 授权公告日:20121010 登记生效日:20131205 解除日:无 |