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一种用于硅热氧反应的供应源装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201420169765.3
申请日：
2014-04-09
公开(公告)号：
CN203787395U
公开(公告)日：
2014-08-20
发明(设计)人：
赵星
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区（亦庄）文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
上海光华专利事务所 31219
代理人：
李仪萍
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-03-27 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20140409 授权公告日:20140820 终止日期:20190409 |
| 2014-08-20 | 授权 | 授权 |