进气喷嘴及其电感耦合等离子体装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200520001649.1

申请日：

2005-01-27

公开(公告)号：

CN2775832Y

公开(公告)日：

2006-04-26

发明(设计)人：

程嘉

申请人：

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L21205 H01L2100 B05B100

代理机构：

北京凯特来知识产权代理有限公司

代理人：

郑立明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-26	授权	授权
2015-03-04	专利权的终止	专利权有效期届满号牌文件类型代码:1611 号牌文件序号:101600322405 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利号:ZL2005200016491 申请日:20050127 授权公告日:20060426 期满终止日期:20150127

共 50 条

[1]

电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785310Y ,2006-05-31

[2]

电感耦合等离子体装置 [P].

张宝峰 .

中国专利 :CN2775992Y ,2006-04-26

[3]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 .

中国专利 :CN2785104Y ,2006-05-31

[4]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2807421Y ,2006-08-16

[5]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

申浩南 .

中国专利 :CN2785105Y ,2006-05-31

[6]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101131893A ,2008-02-27

[7]

电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 ;

南建辉 .

中国专利 :CN101136279B ,2008-03-05

[8]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

陈鹏 .

中国专利 :CN2726076Y ,2005-09-14

[9]

电感耦合等离子体处理装置 [P].

李昌根 .

中国专利 :CN214043598U ,2021-08-24

[10]

电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置 [P].

宋巧丽 .

中国专利 :CN1812010A ,2006-08-02

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