研磨垫用组合物、研磨垫及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911363418.8
申请日
2019-12-26
公开(公告)号
CN111378085B
公开(公告)日
2020-07-07
发明(设计)人
郑恩先 许惠映 徐章源 尹锺旭
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
C08G1812
IPC分类号
C08G1866 C08G1848 C08G1832 C08L7508 C08J912 C08J914 C08J9228 B24B3724 H01L21306 C08G10100
代理机构
上海弼兴律师事务所 31283
代理人
薛琦
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨垫用组合物、研磨垫及其制备方法 [P]. 
郑恩先 ;
许惠映 ;
徐章源 ;
尹锺旭 .
中国专利 :CN111440288B ,2020-07-24
[2]
研磨垫及研磨垫用氨基甲酸酯树脂组合物 [P]. 
小田善之 ;
柴雄一郎 .
中国专利 :CN109957088A ,2019-07-02
[3]
研磨垫用组合物 [P]. 
保坂幸生 ;
冈本隆浩 ;
长谷川亨 ;
川桥信夫 ;
森野克昭 .
中国专利 :CN1757666A ,2006-04-12
[4]
树脂组合物、研磨垫、和研磨垫的制造方法 [P]. 
石内隆仁 ;
高桥信行 .
中国专利 :CN111819211B ,2020-10-23
[5]
研磨垫用氨基甲酸酯树脂组合物以及聚氨酯研磨垫 [P]. 
小田善之 ;
须崎弘 .
中国专利 :CN103059551A ,2013-04-24
[6]
研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P]. 
小田善之 ;
柴雄一郎 .
中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05
[7]
研磨垫和研磨垫制备方法 [P]. 
尹永仁 ;
尹涛 ;
赵盼盼 ;
李林 .
中国专利 :CN113400189A ,2021-09-17
[8]
研磨垫用组合物以及使用它的研磨垫 [P]. 
保坂幸生 ;
冈本隆浩 ;
长谷川亨 ;
川桥信夫 ;
森野克昭 .
中国专利 :CN100398598C ,2004-04-07
[9]
制备研磨垫之组合物 [P]. 
金光复 .
中国专利 :CN111320863A ,2020-06-23
[10]
研磨垫及其制造方法 [P]. 
糸山光纪 ;
宫泽文雄 .
中国专利 :CN103563056A ,2014-02-05