多层的硅微机械零件的制造方法和由此方法获得的零件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200780041825.6

申请日：

2007-11-01

公开(公告)号：

CN101573287A

公开(公告)日：

2009-11-04

发明(设计)人：

P·马迈 J·-L·赫尔弗 T·科努斯

申请人：

申请人地址：

瑞士格伦兴

IPC主分类号：

B81C500

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

温大鹏;刘华联

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-08-21	授权	授权
2009-12-30	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

微机械零件的制造方法 [P].

A·富辛格 ;

M·维拉尔多 .

中国专利 :CN102224464B ,2011-10-19

[2]

机械零件和制造这种机械零件的方法 [P].

多米尼克·柯珀 ;

布鲁诺·戴姆布里恩 ;

法比恩·莱柯里 ;

阿兰·迈德克 ;

让－诺尔·马伊 .

中国专利 :CN1932315A ,2007-03-21

[3]

制造机械零件的方法 [P].

佐藤美有 ;

大木力 .

中国专利 :CN107709582A ,2018-02-16

[4]

机械零件、机械零件的制造方法、机芯以及钟表 [P].

田边幸子 ;

新轮隆 ;

中岛正洋 .

中国专利 :CN105425570A ,2016-03-23

[5]

机械零件、机械零件的制造方法、机芯以及钟表 [P].

田边幸子 ;

新轮隆 ;

中岛正洋 .

中国专利 :CN105467811B ,2016-04-06

[6]

机械零件的修理和制造方法及修复机械零件的制造方法 [P].

落合宏行 ;

渡边光敏 ;

卜部健人 ;

宗野和夫 ;

后藤昭弘 ;

秋吉雅夫 .

中国专利 :CN1826431B ,2006-08-30

[7]

机械零件或电子零件的制造方法 [P].

松长正治 ;

安纳义治 ;

森秀伸 .

中国专利 :CN103567412A ,2014-02-12

[8]

碳氮共渗方法、机械零件的制造方法及机械零件 [P].

大木力 .

中国专利 :CN101880852B ,2010-11-10

[9]

碳氮共渗方法、机械零件的制造方法及机械零件 [P].

大木力 .

中国专利 :CN101326302A ,2008-12-17

[10]

机械零件的加工方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN106736253A ,2017-05-31

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