一种铝硅靶材及其制备方法与应用

被引：0

申请号：

CN202211008938.9

申请日：

2022-08-22

公开(公告)号：

CN115354286A

公开(公告)日：

2022-11-18

发明(设计)人：

姚力军潘杰周敏陈勇军周友平

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1435 C22C2102

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

徐浩

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-18	公开	公开
2022-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20220822

共 50 条

[1]

铬铝硅合金靶材及其制备方法 [P].

张凤戈 ;

唐培新 ;

姚伟 ;

张路长 ;

姜海 ;

赵雷 ;

高明 .

中国专利 :CN104419859A ,2015-03-18

[2]

一种旋转硅磷合金靶材及其制备方法与应用 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

赵明增 ;

杨永添 .

中国专利 :CN111118437A ,2020-05-08

[3]

铝钪合金靶材及其制备方法、应用 [P].

陈卫平 ;

申庆飞 ;

聂东红 .

中国专利 :CN116117139B ,2024-11-22

[4]

一种钛铝镁硅合金靶材及其制备方法 [P].

吕宏 ;

张超 ;

谢元锋 ;

夏扬 .

中国专利 :CN112779506A ,2021-05-11

[5]

一种碲硫镉靶材及其制备方法与应用 [P].

余芳 ;

文崇斌 .

中国专利 :CN113233897A ,2021-08-10

[6]

一种铝硅合金溅射靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

邹浪 .

中国专利 :CN112899624A ,2021-06-04

[7]

一种MoTiNi靶材及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

黄洁文 ;

周友平 ;

吴东青 .

中国专利 :CN119530583A ,2025-02-28

[8]

一种铝钪靶材及其制备方法 [P].

高建成 ;

王小兰 ;

张明柱 ;

童培云 ;

马国成 .

中国专利 :CN120249899A ,2025-07-04

[9]

钛铝硅合金靶材的制备方法 [P].

周武平 ;

姚伟 ;

赵雷 ;

郝权 ;

张路长 ;

孙继洲 .

中国专利 :CN104416157A ,2015-03-18

[10]

一种铬铝硅镍四元合金靶材及其制备方法 [P].

姜海 ;

唐培新 ;

吕晓明 ;

姜慧 ;

王瑞刚 ;

许凤志 .

中国专利 :CN110257781A ,2019-09-20

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