共 50 条
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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-08-03 | 公开 | 公开 |
| 2012-12-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101370324324 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010105882170 申请日:20101130 |
| 2015-05-27 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101715630245 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010105882170 申请公布日:20110803 |