对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110464994.2

申请日：

2021-04-28

公开(公告)号：

CN113644018A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

小林康信

申请人：

申请人地址：

日本新泻县

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2167 H01L5156 C23C1454 C23C1424 C23C1404

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

李双亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	公开	公开
2021-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20210428

共 50 条

[1]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质 [P].

谷和宪 ;

小林康信 .

中国专利 :CN113851406A ,2021-12-28

[2]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质 [P].

谷和宪 ;

小林康信 .

中国专利 :CN113846305A ,2021-12-28

[3]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质 [P].

小林康信 ;

谷和宪 .

中国专利 :CN113851407A ,2021-12-28

[4]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质 [P].

谷和宪 ;

小林康信 .

日本专利 :CN113851408B ,2025-07-04

[5]

对准装置、成膜装置、控制方法、电子器件的制造方法、程序及存储介质 [P].

长沼义人 ;

谷和宪 ;

神田宽 ;

金内正信 .

日本专利 :CN119604641A ,2025-03-11

[6]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法及存储介质 [P].

谷和宪 ;

小林康信 .

中国专利 :CN113851408A ,2021-12-28

[7]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法、程序及存储介质 [P].

谷和宪 ;

长沼义人 .

日本专利 :CN119631603A ,2025-03-14

[8]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质 [P].

小林康信 .

中国专利 :CN113637948A ,2021-11-12

[9]

对准装置、成膜装置、对准方法、电子器件的制造方法以及存储介质 [P].

小林康信 .

日本专利 :CN113637948B ,2024-03-08

[10]

对准装置、成膜装置、对准方法及电子器件的制造方法 [P].

泷泽毅 ;

川畑奉代 ;

石井博 ;

佐藤和之 ;

吉津直人 ;

佐藤智之 ;

小林康信 .

日本专利 :CN119517821A ,2025-02-25

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