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基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法以及已学习模型

被引：0
申请号：
CN202180038611.3
申请日：
2021-05-12
公开(公告)号：
CN115668448A
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
川根旬平 泽崎尚树
申请人：
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L21304
代理机构：
北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人：
范胜杰;金慧善
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-31 公开 公开
2023-02-17 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20210512
共 50 条
[1]
基板处理装置、推定方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、已学习模型的生成方法以及已学习模型 [P]. 
久保友辅 ;
仲村武琉 ;
猿渡健 .
日本专利 :CN120604319A ,2025-09-05
[2]
基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完毕模型的生成方法以及学习完毕模型 [P]. 
鳅场真树 ;
尾辻正幸 ;
樋口鲇美 .
中国专利 :CN115699260A ,2023-02-03
[3]
基板处理装置、基板处理方法、学习用数据的生成方法、学习方法、学习装置、学习完成模型的生成方法及学习完成模型 [P]. 
阿野诚士 ;
小路丸友则 .
中国专利 :CN115428123A ,2022-12-02
[4]
已学习模型生成方法和已学习模型生成系统 [P]. 
山本周平 ;
泽田隆二 .
日本专利 :CN117651969A ,2024-03-05
[5]
设备诊断系统、学习装置、已学习模型和已学习模型的生成方法 [P]. 
石黑幸広 .
日本专利 :CN118696282A ,2024-09-24
[6]
信息处理装置、已学习模型生成装置、信息处理方法、已学习模型生成方法、信息处理程序和已学习模型生成程序 [P]. 
千叶直也 ;
牛久祥孝 ;
谷合龙典 ;
五十岚亮 ;
小野宽太 ;
铃木雄太 ;
齐藤耕太郎 .
日本专利 :CN120188167A ,2025-06-20
[7]
训练数据、已学习模型、摄像装置、学习装置、训练数据的创建方法及已学习模型的生成方法 [P]. 
大日方悟 .
日本专利 :CN119721133A ,2025-03-28
[8]
训练数据、已学习模型、摄像装置、学习装置、训练数据的创建方法及已学习模型的生成方法 [P]. 
斋藤太郎 .
日本专利 :CN119721285A ,2025-03-28
[9]
学习用数据生成方法以及学习完毕模型生成方法 [P]. 
犹原英司 ;
太田乔 ;
池内崇 ;
中村康则 .
日本专利 :CN119204256A ,2024-12-27
[10]
学习装置、信息处理装置、基板处理装置、学习模型生成方法以及处理条件决定方法 [P]. 
德山真裕 .
日本专利 :CN120858441A ,2025-10-28
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