图案的形成装置及形成方法、器件的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510003980.1

申请日：

2003-04-15

公开(公告)号：

CN100525584C

公开(公告)日：

2005-07-13

发明(设计)人：

长谷井宏宣

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H05K314

IPC分类号：

H01L2160 B05D100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101663510362 IPC(主分类):H05K 3/14 专利号:ZL2005100039801 申请日:20030415 授权公告日:20090805 终止日期:20150415
2009-08-05	授权	授权
2005-07-13	公开	公开
2005-09-07	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

图案形成方法、器件和器件制造方法 [P].

齐藤由理 ;

植松大辅 ;

早川畅博 ;

中山亮真 ;

森贤太郎 .

中国专利 :CN104093499A ,2014-10-08

[2]

图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法 [P].

平井利充 .

中国专利 :CN1536949A ,2004-10-13

[3]

图形的形成方法、图形形成装置以及器件的制造方法 [P].

平井利充 ;

长谷井宏宣 .

中国专利 :CN100377628C ,2004-10-20

[4]

图案形成方法` [P].

川濑健夫 .

中国专利 :CN1476049A ,2004-02-18

[5]

膜形成方法、膜形成装置及液晶装置的制造方法 [P].

蛭间敬 .

中国专利 :CN100514157C ,2007-02-07

[6]

图案的形成装置及方法、导电膜布线的制造方法及电子器件 [P].

长谷井宏宣 .

中国专利 :CN1459372A ,2003-12-03

[7]

图形的形成方法和图形形成装置、器件的制造方法、导电膜布线、光电装置及电子机器 [P].

平井利充 ;

长谷井宏宣 .

中国专利 :CN100508693C ,2004-09-22

[8]

设备、膜形成方法及设备的制造方法 [P].

三桥悦央 ;

关俊一 .

中国专利 :CN101076211B ,2007-11-21

[9]

图像形成方法及图像形成装置 [P].

石桥干生 ;

须藤和久 ;

岩崎有贵子 ;

大年惠 ;

中村历 ;

山田征史 ;

杉山敏弘 ;

鲤沼宣之 ;

酒卷崇 .

中国专利 :CN101118397A ,2008-02-06

[10]

形成薄膜的方法以及制造器件的方法 [P].

增田贵史 .

中国专利 :CN100407368C ,2007-03-21

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