一种没有四氯化硅排放的多晶硅生产法

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专利类型
发明
申请号
CN200810167829.5
申请日
2008-10-13
公开(公告)号
CN101723370B
公开(公告)日
2010-06-09
发明(设计)人
刘雅铭 刘寄声
申请人
申请人地址
100076 北京市大兴区旧宫镇红星楼21栋405室
IPC主分类号
C01B3303
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
实质审查的生效
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共 50 条
[1]
多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔 [P]. 
沈晓明 .
中国专利 :CN201309832Y ,2009-09-16
[2]
一种用多晶硅切片硅粉生产四氯化硅的方法 [P]. 
刘长河 ;
薛庆山 ;
韩志强 .
中国专利 :CN110357110B ,2019-10-22
[3]
四氯化硅制备三氯氢硅的系统以及多晶硅生产系统 [P]. 
张宝顺 ;
宗冰 ;
肖建忠 ;
蔡延国 ;
鲍守珍 ;
王体虎 .
中国专利 :CN206666145U ,2017-11-24
[4]
多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法 [P]. 
牟浩斌 ;
易家宝 ;
邹振 .
中国专利 :CN102286152A ,2011-12-21
[5]
多晶硅副产物四氯化硅处理方法 [P]. 
严大洲 ;
毋克力 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
谢正和 ;
杜俊平 ;
谢冬晖 ;
汪绍芬 ;
郭富东 .
中国专利 :CN102167334A ,2011-08-31
[6]
多晶硅副产物四氯化硅的回收利用方法 [P]. 
牟浩斌 ;
易家宝 ;
邹振 .
中国专利 :CN101708851A ,2010-05-19
[7]
多晶硅副产物四氯化硅处理设备 [P]. 
严大洲 ;
毋克力 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
谢正和 ;
杜俊平 ;
谢冬晖 ;
汪绍芬 ;
郭富东 .
中国专利 :CN202054617U ,2011-11-30
[8]
多晶硅副产物四氯化硅处理设备 [P]. 
严大洲 ;
毋克力 ;
肖荣晖 ;
汤传斌 ;
谢正和 ;
杜俊平 ;
谢冬晖 ;
汪绍芬 ;
郭富东 .
中国专利 :CN102167333A ,2011-08-31
[9]
一种四氯化硅、多晶硅和石英玻璃的联合制备法 [P]. 
刘寄声 .
中国专利 :CN1509984A ,2004-07-07
[10]
多晶硅生产线四氯化硅处理系统 [P]. 
杨海申 ;
杨佳朋 ;
赵会华 ;
贾建华 ;
李晓华 .
中国专利 :CN201454384U ,2010-05-12