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一种不锈钢半导体级洁净处理装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910635729.9
申请日：
2019-07-15
公开(公告)号：
CN110344106A
公开(公告)日：
2019-10-18
发明(设计)人：
童华宁
陈中凯
申请人：
申请人地址：
313000 浙江省湖州市长兴县煤山镇南太湖青年科技创业园7-1号厂房
IPC主分类号：
C25F324
IPC分类号：
C25F700
代理机构：
北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385
代理人：
董芙蓉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-10-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-11-12 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C25F 3/24 申请日:20190715 |