共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种基于掩膜版清洗应用的气幕隔离装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910735050.7
申请日：
2019-08-09
公开(公告)号：
CN110576018B
公开(公告)日：
2019-12-17
发明(设计)人：
王照忠
王宏宇
唐元刚
申请人：
申请人地址：
610000 四川省成都市高新区康强一路1188号
IPC主分类号：
B08B1502
IPC分类号：
G03F182
代理机构：
成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220
代理人：
伍星
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-24 | 授权 | 授权 |
| 2020-01-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 15/02 申请日:20190809 |
| 2019-12-17 | 公开 | 公开 |