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一种光束聚焦装置、激光聚焦系统及方法、材料剥离方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010169948.5
申请日：
2020-03-12
公开(公告)号：
CN111468824B
公开(公告)日：
2020-07-31
发明(设计)人：
刘敏
郑柳
申请人：
申请人地址：
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号：
B23K26046
IPC分类号：
G02B2709
代理机构：
北京知迪知识产权代理有限公司 11628
代理人：
周娟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-05 | 授权 | 授权 |
| 2020-07-31 | 公开 | 公开 |
| 2020-08-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B23K 26/046 申请日:20200312 |