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用于控制等离子体反应器的系统
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202080032590.X
申请日
:
2020-03-13
公开(公告)号
:
CN113795904A
公开(公告)日
:
2021-12-14
发明(设计)人
:
C·P·汤姆
李巍
谢飞
申请人
:
申请人地址
:
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
:
H01J3732
IPC分类号
:
代理机构
:
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
:
韩茂
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-12-31
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200313
2021-12-14
公开
公开
共 50 条
[1]
等离子体反应器的热管理
[P].
S·A·麦克勒兰德
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S·A·麦克勒兰德
;
G·S·莱纳德三世
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G·S·莱纳德三世
;
具宰模
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具宰模
.
中国专利
:CN113785379A
,2021-12-10
[2]
用于等离子体反应器的增强等离子体源
[P].
V·N·托多罗
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V·N·托多罗
;
G·勒雷
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G·勒雷
;
M·D·威尔沃斯
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M·D·威尔沃斯
;
L-S·蒋
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L-S·蒋
.
中国专利
:CN105340059A
,2016-02-17
[3]
等离子体反应器
[P].
A·萨拉巴斯
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A·萨拉巴斯
;
A·A·H·塔哈
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A·A·H·塔哈
;
D·乔达里
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D·乔达里
;
M·克林德沃特
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M·克林德沃特
;
C·埃勒特
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C·埃勒特
.
中国专利
:CN102237247A
,2011-11-09
[4]
等离子体反应器
[P].
G·P·奈特
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G·P·奈特
;
A·钱伯斯
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A·钱伯斯
.
中国专利
:CN101755322B
,2010-06-23
[5]
等离子体反应器
[P].
张婧
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张婧
;
厉建祥
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厉建祥
;
张铁
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张铁
;
任君朋
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任君朋
;
孙峰
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孙峰
;
朱云峰
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朱云峰
;
徐伟
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徐伟
.
中国专利
:CN208577431U
,2019-03-05
[6]
等离子体反应器
[P].
李大勋
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李大勋
;
金冠泰
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金冠泰
;
宋永焄
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宋永焄
;
车旻锡
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车旻锡
;
李载玉
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李载玉
;
金释俊
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金释俊
.
中国专利
:CN101972621A
,2011-02-16
[7]
等离子体反应器
[P].
张海洋
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张海洋
;
王新鹏
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王新鹏
.
中国专利
:CN202231939U
,2012-05-23
[8]
等离子体反应器
[P].
张海洋
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张海洋
;
王新鹏
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王新鹏
.
中国专利
:CN202210507U
,2012-05-02
[9]
等离子体反应器
[P].
左涛涛
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左涛涛
;
吴狄
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吴狄
.
中国专利
:CN211350572U
,2020-08-25
[10]
等离子体反应器
[P].
闵兴植
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闵兴植
;
安永斤
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安永斤
;
梁成珍
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梁成珍
.
中国专利
:CN101534930B
,2009-09-16
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