一种光阻显影液

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专利类型
发明
申请号
CN200510098603.0
申请日
2005-09-05
公开(公告)号
CN1928724B
公开(公告)日
2007-03-14
发明(设计)人
金启明 陈学刚 董俊卿 宫清 何志奇
申请人
申请人地址
518119 广东省深圳市龙岗区葵涌镇延安路比亚迪工业园
IPC主分类号
G03F732
IPC分类号
H01L21027
代理机构
北京润平知识产权代理有限公司 11283
代理人
王凤桐;周建秋
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种光阻显影液 [P]. 
金启明 ;
陈学刚 ;
董俊卿 ;
宫清 ;
何志奇 .
中国专利 :CN1963677A ,2007-05-16
[2]
显影液及其制备方法与应用 [P]. 
冯卫文 .
中国专利 :CN102096344B ,2011-06-15
[3]
一种显影液组成物 [P]. 
何国锐 ;
殷健成 .
中国专利 :CN102063024B ,2011-05-18
[4]
一种平板显示用正性光阻显影液 [P]. 
刘小勇 ;
田博 ;
侯琳熙 ;
房龙翔 .
中国专利 :CN112612189B ,2021-04-06
[5]
一种平板显示用显影液 [P]. 
冯卫文 .
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[6]
平板显示用显影液 [P]. 
冯卫文 .
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[7]
一种TFT‑LCD显示用显影液 [P]. 
白航空 .
中国专利 :CN107121898A ,2017-09-01
[8]
光致蚀刻剂用显影液及其制备方法与应用 [P]. 
冯卫文 .
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[9]
一种光刻胶显影液 [P]. 
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[10]
光致抗蚀剂显影液 [P]. 
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川田聪志 ;
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