一种降低氢终端金刚石欧姆接触电阻的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910590637.3

申请日：

2019-07-02

公开(公告)号：

CN110323132A

公开(公告)日：

2019-10-11

发明(设计)人：

李成明原晓芦郑宇亭黄亚博刘金龙魏俊俊陈良贤

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21268 H01L2945

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司 11237

代理人：

张仲波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/28 申请日:20190702
2019-10-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种降低氢终端金刚石欧姆接触电阻的方法 [P].

李成明 ;

原晓芦 ;

郑宇亭 ;

黄亚博 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN110323132B ,2024-02-13

[2]

一种测量高阻金刚石欧姆接触比接触电阻的方法 [P].

刘康 ;

范赛飞 ;

朱嘉琦 .

中国专利 :CN117761399A ,2024-03-26

[3]

一种氢终端金刚石隧穿欧姆接触电阻的制备方法 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

李佳颖 ;

谷露云 ;

丁森川 ;

苏凯 ;

何琦 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN113725076A ,2021-11-30

[4]

一种氢终端金刚石隧穿欧姆接触电阻的制备方法 [P].

任泽阳 ;

张金风 ;

李佳颖 ;

谷露云 ;

丁森川 ;

苏凯 ;

何琦 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN113725076B ,2024-06-25

[5]

一种氮掺杂的氢终端金刚石及其制备方法 [P].

王宏兴 ;

苏蕊 ;

刘璋成 .

中国专利 :CN113731459A ,2021-12-03

[6]

氢钝化硅终端欧姆接触电极的金刚石核探测器及制备方法 [P].

苏凯 ;

王唯 ;

张金风 ;

何琦 ;

任泽阳 ;

张进成 ;

郝跃 .

中国专利 :CN117352587A ,2024-01-05

[7]

一种金刚石基欧姆接触结构 [P].

张鹏飞 ;

陈伟东 ;

张少鹏 ;

王宏兴 .

中国专利 :CN212461601U ,2021-02-02

[8]

一种氢终端金刚石转化为氟终端金刚石的方法 [P].

王宏兴 ;

王艳丰 ;

王玮 ;

常晓慧 ;

张少鹏 ;

惠斯佳 ;

常成东 .

中国专利 :CN112687542A ,2021-04-20

[9]

一种金刚石高温欧姆接触电极及其制备方法 [P].

东芳 ;

蒋顺勇 ;

欧阳宇航 ;

侯冬杨 ;

汪启军 ;

吕婷 ;

张栋梁 ;

肖艾迪 ;

刘胜 .

中国专利 :CN120239320A ,2025-07-01

[10]

一种MPCVD法生产单晶金刚石的方法 [P].

郑逢达 ;

李宏利 ;

方海江 ;

崔名扬 .

中国专利 :CN114836829A ,2022-08-02

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