刻蚀机集群控制器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610011922.8

申请日：

2006-05-17

公开(公告)号：

CN100437398C

公开(公告)日：

2007-05-09

发明(设计)人：

徐华贾培发曹亦明赵雁南王家廞

申请人：

申请人地址：

100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号

IPC主分类号：

G05B1902

IPC分类号：

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

司君智

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-05-09	公开	公开
2008-11-26	授权	授权
2018-08-24	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G05B 19/02 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号变更事项:共同专利权人变更前:清华大学变更后:清华大学

共 50 条

[1]

刻蚀机集群控制器与工艺模块控制器通讯系统及方法 [P].

徐华 ;

丁力 ;

贾培发 ;

王家廞 ;

赵雁南 .

中国专利 :CN100429887C ,2007-03-28

[2]

集群控制器 [P].

谢应宸 ;

由志鸣 ;

韦正华 .

中国专利 :CN202218405U ,2012-05-09

[3]

远程家电集群控制器 [P].

王映焓 .

中国专利 :CN202171741U ,2012-03-21

[4]

控制器集群故障处理方法、装置、控制器及控制器集群 [P].

陈南飞 .

中国专利 :CN112073250B ,2020-12-11

[5]

集群的升级方法、装置、集群控制器和服务器 [P].

李晓一 .

中国专利 :CN114531354A ,2022-05-24

[6]

数据同步方法、装置及集群控制器 [P].

吴志良 .

中国专利 :CN108574710A ,2018-09-25

[7]

袜机控制器 [P].

李财德 .

中国专利 :CN201698193U ,2011-01-05

[8]

集群电话微电脑控制器 [P].

尹春雨 ;

董喜祥 ;

孙继科 .

中国专利 :CN2445531Y ,2001-08-29

[9]

无人机集群控制器 [P].

刘其民 .

中国专利 :CN306129478S ,2020-10-27

[10]

智能集群终端综合控制器 [P].

戚峰 .

中国专利 :CN106959635A ,2017-07-18

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