一种纳米尺寸三角形空气槽的制作方法

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专利类型
发明
申请号
CN200710118868.1
申请日
2007-06-13
公开(公告)号
CN101325171B
公开(公告)日
2008-12-17
发明(设计)人
屠晓光 陈少武
申请人
申请人地址
100083 北京市海淀区清华东路甲35号
IPC主分类号
H01L21762
IPC分类号
B82B300
代理机构
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
周国城
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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