一种薄膜晶体管及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611114659.5

申请日：

2016-12-07

公开(公告)号：

CN108172627A

公开(公告)日：

2018-06-15

发明(设计)人：

霍雨佳赵宇丹肖小阳王营城张天夫金元浩李群庆范守善

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室

IPC主分类号：

H01L29786

IPC分类号：

H01L2951 H01L21336 H01L2134

代理机构：

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	授权	授权
2018-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/786 申请日:20161207
2018-06-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种薄膜晶体管及其制备方法 [P].

霍雨佳 ;

赵宇丹 ;

肖小阳 ;

王营城 ;

张天夫 ;

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN108172624B ,2018-06-15

[2]

一种薄膜晶体管及其制备方法 [P].

赵宇丹 ;

霍雨佳 ;

肖小阳 ;

王营城 ;

张天夫 ;

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN108172612B ,2018-06-15

[3]

一种薄膜晶体管及其制备方法 [P].

赵宇丹 ;

霍雨佳 ;

肖小阳 ;

王营城 ;

张天夫 ;

金元浩 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN108172626B ,2018-06-15

[4]

一种薄膜晶体管及其制备方法 [P].

王军 ;

王桂东 ;

毛毓珂 ;

陈赛赛 ;

蔡金华 .

中国专利 :CN112820779B ,2021-05-18

[5]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

孟哲宇 ;

段志勇 ;

魏朝刚 .

中国专利 :CN105957814A ,2016-09-21

[6]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

邹渊 ;

李群庆 ;

刘军库 ;

朱振东 ;

范守善 .

中国专利 :CN104103695B ,2014-10-15

[7]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

曹轩 .

中国专利 :CN108365095A ,2018-08-03

[8]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

赵海廷 ;

魏朝刚 ;

刘青刚 .

中国专利 :CN104409518B ,2015-03-11

[9]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

邹渊 ;

李群庆 ;

范守善 .

中国专利 :CN104112777B ,2014-10-22

[10]

薄膜晶体管及其制备方法 [P].

黄义勋 ;

李根洙 .

中国专利 :CN1716636A ,2006-01-04

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