晶片定位方法和装置,晶片加工系统及晶片定位装置的晶片座旋转轴定位方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02826636.6

申请日：

2002-11-13

公开(公告)号：

CN1613145A

公开(公告)日：

2005-05-04

发明(设计)人：

福崎义树新宅朝之

申请人：

申请人地址：

日本广岛县深安郡神边町字道上1588番地之2

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

G01B1100

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

朱登河;王学强

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-29	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/68 申请日:20021113 授权公告日:20090610
2009-06-10	授权	授权
2005-05-04	公开	公开
2005-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

晶片定位装置及晶片加工系统 [P].

武震 ;

张乾 ;

高爱梅 ;

黄卫国 ;

宋婉贞 ;

张永昌 .

中国专利 :CN110265342B ,2019-09-20

[2]

晶片自动定位装置及晶片自动定位方法 [P].

朱干慧 ;

苏亚青 ;

吕剑 .

中国专利 :CN114179002A ,2022-03-15

[3]

晶片定位装置及方法 [P].

李靖 .

中国专利 :CN105762101B ,2016-07-13

[4]

晶片定位装置 [P].

懈均宇 ;

孙勇 ;

王迪平 ;

唐景庭 ;

伍三忠 ;

郭建辉 .

中国专利 :CN2788352Y ,2006-06-14

[5]

一种晶片定位方法及晶片定位装置 [P].

朱常兴 ;

赵文斌 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

齐孟宗 .

中国专利 :CN119108323A ,2024-12-10

[6]

晶片定位装置 [P].

莫家平 .

中国专利 :CN205646324U ,2016-10-12

[7]

晶片定位装置 [P].

朱常兴 ;

赵文斌 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

齐孟宗 .

中国专利 :CN223181112U ,2025-08-01

[8]

晶片的定位方法 [P].

B·肖尔特范马斯特 ;

H·克里斯特 ;

R·施穆基 .

中国专利 :CN101128928A ,2008-02-20

[9]

用于锁定晶片的晶片锁定机构、晶片定位装置和晶片输送设备 [P].

蒋磊 .

中国专利 :CN112736014A ,2021-04-30

[10]

用于锁定晶片的晶片锁定机构、晶片定位装置和晶片输送设备 [P].

蒋磊 .

中国专利 :CN112736014B ,2024-01-16

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